原標題：從創造“中國芯”到核心裝備“中國造”

 

    南昌不斷沖擊世界LED產業制高點

 

    1400℃!這差不多是鋼融化的溫度，這也是生產深紫外LED外延晶片的核心裝備MOCVD設備的反應腔溫度。近日，在位于南昌高新區的南昌中微半導體設備有限公司，負責人告訴記者，正是因為公司最新推出的量產深紫外LED的MOCVD設備，在這樣一個比普通MOCVD設備高得多的腔體溫度下，也能實現對溫度均勻性的精準控制，滿足了深紫外LED大批量、低成本制造的一系列需求，從今年6月起，這一具有世界領先水平的核心裝備從南昌走向國內外市場。由此，南昌向著世界LED產業的制高點，再次攀登了一大步。

 

    LED產業和集成電路產業一樣，是半導體產業的重要分支，曾經存在著芯片關鍵技術和核心制造裝備等產業金字塔的制高點受制于人的情況。不過，得益于南昌在LED領域的不斷創新，16年前，誕生于南昌的硅襯底LED技術，一舉改變了日美公司分別壟斷藍寶石襯底和碳化硅襯底芯片技術的局面，并在2015年獲得國家技術發明一等獎。通過16年的不懈努力，“中國芯”吸引并孵化上百家企業，在南昌形成了一個高端特種照明產業集群。這是南昌向LED產業制高點發起的第一次沖擊。

 

    站在更高的臺階，南昌仰望產業金字塔的“塔尖”——技術密集度最高，生產LED芯片的上游產品，LED外延片最為核心的MOCVD設備如果長期依賴國外，自主LED產品的研發和制造受到諸多限制，南昌LED產業要想獲得長遠的發展，就必須在這一領域有所突破。他們走上了另一條創新之路。

 

    2017年底，有感于南昌人獨具創新的“重資本、輕資產”招商政策和完善的自主產業鏈，特別是對產業創新的執著追求，當時，剛在國內實現應用于藍光LED的MOCVD設備自主研發的中微公司，選擇在南昌擴充其產能，并把這里作為最主要的MOCVD設備制造基地。2018年3月，公司就生產出了南昌制造的第一臺MOCVD設備。有了南昌的鼎力相助，當年，中微公司MOCVD設備產量超過100腔體。2019年，這一數字進一步攀升。由于同樣性能水平下，設備產能高出國外設備20%，中微公司僅用一年時間，就受到諸多國內客戶的青睞，成為下游企業應用于藍光LED的MOCVD首選設備。

 

    如今，隨著市場對高產能、低能耗MOCVD設備的需求更趨強烈，特別是深紫外LED為整個產業打開了一片藍海，8月5日，在南昌的進一步支持下，中微公司新的生產研發基地開工建設，將使其MOCVD設備的年產能進一步擴充。同時，中微公司還將在南昌開展與MOCVD設備相關的基礎科學研究和第三代半導體應用產品開發，逐步將南昌打造成世界級MOCVD設備研發、制造及創新中心。

 

    從創造“中國芯”，到核心裝備“中國造”，再到全自主產業鏈的協同創新，屆時，南昌將真正站上世界LED產業的制高點。(來源：江西日報記者殷勇)